由于實驗室氣路管道特氣系統是一種具有高風險的供應系統，因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。特氣系統的維護主要包含特氣柜維護和管路維護。
特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且安全可靠。在維護前關閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據氣體性質的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。
管路的維護，由于不同的氣體性質不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge)，一般至少反復30次，對于有吸附性的液態源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關閉閥門，1小時后會出現壓力表回表的現象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發生器繼續抽，直到沒有吸附氣體釋放為止。
以上兩種系統維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。
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